Zeitung Heute : Effiziente UV-Technik für kleinere Halbleiter

Der Tagesspiegel

Ein deutsch-amerikanisches Forscherteam hat jetzt eine besonders effiziente Methode zur Erzeugung ultravioletter Strahlen entdeckt. Forscher von Rutgers, der staatlichen Universität von New Jersey in Newark, installierten in Kooperation mit Physikern der TU München eine Lampe, die energiereicher und wartungsärmer ist als bisher verwendete Quellen. Die neue Technik lässt Fortschritte in der Halbleiter-Industrie erwarten. In dieser Branche gibt es die meisten technischen Anwendungen für UV-Strahlen. Je kürzer die Wellenlänge des verwendeten UV-Lasers ist, desto kleinere Strukturen lassen sich bei Halbleitern erreichen.

UV-Licht liegt als Teil des elektromagnetischen Spektrums bei Wellenlängen etwa zwischen 10 und 360 Nanometern (millionstel Millimeter). Unsichtbare UV-Strahlen sind auch im Sonnenlicht enthalten. Die Quelle, die die Teams um den amerikanischen Physikprofessor Daniel Murnick und seinen Münchner Kollegen Andreas Ulrich entwickelten, verwendet extrem kurze Wellenlängen im so genannten Vakuum-UV, das etwa von zehn bis 200 Nanometer reicht. Als besonders vorteilhaft bezeichnet es Murnick, dass die neue Lampe fast bei Raumtemperatur betrieben werden und Elektrizität effizienter als bei konventionellen Quellen ausgenutzt werden kann. pja

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