Spitzentechnologie aus Berlin-Neukölln: Chipfabrik-Ausrüster ASML weiht neue Produktionshalle ein

Zur Begrüßung bittet Markus Matthes, Chef des ASML-Standortes Berlin, die Gäste, sich an die Weisungen des Sicheiheitspersonals zu halten. „Im Falle einer Evakuierung gehen Sie bitte zügig nach draußen.“ Die neue Halle „BER08“ befinde sich noch in der „Endqualifizierung“, was auch immer das bedeuten mag. Dass vorm Werkstor Polizei aufgefahren ist, trägt auch nicht unbedingt zur Entspannung bei.

ASML ist eben nicht irgendwer. Der niederländische Konzern ist Weltmarktführer für den Bau von Produktionsanlagen für die Halbleiterindustrie und damit Teil der kritischen Infrastruktur Berlins. Große Chiphersteller wie TSMC, Intel oder Samsung sind auf diese Spezialmaschinen, die ASML in Eindhoven und anderen Standorten in der Welt produziert, angewiesen. Der Börsenwert des Konzerns mit rund 44.000 Mitarbeitern liegt aktuell bei 300 Milliarden Euro.

© Thomas Loy

Staatssekretäre aus zwei Bundesministerien sind zur Eröffnung am Donnerstag gekommen, der Regierende Bürgermeister Kai Wegner (CDU) schaut vorbei, Neuköllns Bürgermeister Martin Hikel (SPD) bedankt sich für die Imageaufbesserung seines Bezirks. Dabei wird nur eine neue Produktionshalle eingeweiht, aber was dort hergestellt wird, ist schon sehr speziell.

Die Halle ist das „Wafer-Table-Power-House“, wie Wegner seinem Manuskript entnimmt. Weil die Wafer-Tische seit Kurzem diamantbeschichtet sind und deutlich länger halten, wie Produktionsleiter Thomas Polzer erklärt, könnten sie sich vor Nachfrage kaum noch retten.

Investiert wurde ein zweistelliger Millionenbetrag

Deshalb die neue Halle, in der die Produktion, die bisher an verschiedenen Standorten erfolgte, konzentriert werden soll. Investiert wurde ein zweistelliger Millionenbetrag, das ist für ASML nicht viel. 2024 wurden insgesamt vier Milliarden Euro investiert.

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Wafer-Tische sind pizzagroße Teller, auf denen Siliziumscheiben für die Chipfertigung fixiert werden, und zwar in einer Genauigkeit im Nanometerbereich. Ein halbes Jahr dauert es, einen Wafer-Tisch zu produzieren, erklärt Polzer. Da wird ständig gemessen, gereinigt, poliert, getrocknet, wieder gemessen – insgesamt 250 Prozessschritte – zuletzt geht es in den Reinraum zur Endfertigung.

Die sensibelsten Produktionsschritte finden im Keller der Halle statt, weil es dort weniger störende Schwingungen gibt. Nebenan ist auch ein großer Raum mit drei großen feuerwehrroten Pumpen, „das ist die Sprinkleranlage“, sagt ein Mitarbeiter. In der Produktion wird mit Gasen und Flüssigkeiten hantiert, die nicht ganz ungefährlich sind. Immerhin wird die Umgebung laufend kontrolliert, mit 8500 Sensoren.

Staatssekretär Stefan Rouenhoff aus dem Bundeswirtschaftsministerium freut sich über die vielen „top ausgebildeten Leute“ und die „Erweiterungsinvestition von ASML in Berlin“, die Halbleiterindustrie sei „eine der wichtigsten Zukunftsbranchen unseres Landes“. Sein Kollege aus dem Bundesforschungsministerium, Rolf-Dieter Jungk, spricht mit Blick auf das neue Produktionsgebäude von einem „Meilenstein“. „Die Halbleiterproduktion rückt zunehmend in den Fokus geopolitischer Spannungen.“

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Die Eröffnung der Halle BER08 sei „ein Zeugnis der wachsenden Bedeutung von Berlin für ASML“, sagt Wayne Allan, ASML-Vorstand, der aus den Niederlanden angereist ist. Seit der Übernahme von Berliner Glas vor fünf Jahren, damals ein Zulieferer von ASML, sei der Standort um rund 40 Prozent gewachsen.

Berlin sei inzwischen ein integraler Bestandteil von ASML, hier würden Schlüsselkomponenten gefertigt, erklärt Matthes. Die nächste Erweiterung am Standort ist schon geplant, in drei Jahren könnte schon die nächste Produktionshalle eingeweiht werden.